掃描電鏡在太陽(yáng)能電池領(lǐng)域的應(yīng)用

近期，俄烏沖突導(dǎo)致油價(jià)連漲，以光伏發(fā)電為代表的新能源產(chǎn)業(yè)廣受關(guān)注。太陽(yáng)能光伏電池（簡(jiǎn)稱光伏電池）作為光伏發(fā)電的核心部件，其發(fā)展前景及市場(chǎng)價(jià)值也備受矚目。在全球各類電池產(chǎn)品銷售收入中，光伏電池占到了27%左右^[1]。而在提升光伏電池的生產(chǎn)工藝和相關(guān)研究中，掃描電鏡發(fā)揮著巨大作用。

光伏電池是一種將太陽(yáng)光能直接轉(zhuǎn)換為電能的光電半導(dǎo)體薄片。目前商業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的光伏電池主要以硅電池為主，分為單晶硅電池、多晶硅電池和非晶硅電池。

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在光伏電池實(shí)際制備過(guò)程中，為了進(jìn)一步提高電池的能量轉(zhuǎn)換效率，通常會(huì)在電池表面制作一層特殊的絨面結(jié)構(gòu)，用絨面做成的電池稱為“絨面電池”或“無(wú)反射”電池。

具體來(lái)說(shuō)，這些太陽(yáng)能電池表面的絨面結(jié)構(gòu)通過(guò)增加照射光在硅片表面的反射次數(shù)，提高光的吸收率，不僅可以降低表面的反射率，還能在電池的內(nèi)部形成光陷阱，從而顯著地提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率，這對(duì)于提高現(xiàn)有硅光伏電池的效率和降低成本有重要意義^[2]。

平坦表面與金字塔結(jié)構(gòu)表面對(duì)比

相較于平坦表面，使用金字塔結(jié)構(gòu)絨面的硅片有更大概率會(huì)使入射光產(chǎn)生的反射光再次作用到硅片表面，而不是直接反射回空氣中，從而增加了光在結(jié)構(gòu)表面的散射和反射次數(shù)，使更多光子被吸收、提供了更多電子-空穴對(duì)。

不同入射角度光線照射在金字塔結(jié)構(gòu)上的光路

目前已有的表面制絨方法有：化學(xué)腐蝕法、反應(yīng)離子刻蝕法、光刻法、機(jī)械刻槽法等，其中化學(xué)腐蝕法因成本低、生產(chǎn)率高且方法簡(jiǎn)單，一直在產(chǎn)業(yè)上廣泛應(yīng)用^[3]，對(duì)于單晶硅光伏電池來(lái)說(shuō)，通常利用堿性溶液在晶體硅不同晶向上產(chǎn)生的各向異性腐蝕，在硅片表面形成類似于“金字塔”結(jié)構(gòu)的絨面。金字塔結(jié)構(gòu)的形成是由于堿與硅的各向異性反應(yīng)造成的^[4]。在一定濃度的堿溶液中，OH-與Si(100) 面的反應(yīng)速度要比Si(111)面的速度快幾倍甚至十幾倍，正是因這樣的反應(yīng)速度差造成了金字塔結(jié)構(gòu)的形成。

在化學(xué)腐蝕的過(guò)程中，腐蝕溶液的濃度、溫度、反應(yīng)時(shí)間等因素都會(huì)對(duì)硅晶體電池絨表面的制備產(chǎn)生影響，導(dǎo)致反射率的不同，使用SEM3100型鎢燈絲掃描電鏡能夠?qū)χ谱鬟^(guò)程中腐蝕區(qū)域的大小、表面金字塔結(jié)構(gòu)等進(jìn)行有效觀測(cè)。