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SVAC-FilmLab-B 箱式鍍膜設(shè)備

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真空系統(tǒng)配置：分子泵、機(jī)械泵、插板閥。

最大樣品尺寸：6英寸。

外形尺寸：1400 x 900 x 2000mm。

可集成電子束、熱蒸發(fā)、磁控濺射等多個沉積模塊。

PLC/觸摸屏控制。

真空腔室尺寸：Φ400-500MM。

極限真空：小于5×10-5Pa。

保壓數(shù)據(jù)V2

真空度數(shù)據(jù)：

性能模塊：

1、磁控濺射模塊：

2、電子束：

電子束蒸發(fā)均勻性

注：在4寸/6寸范圍內(nèi)取9個點，均勻性值=（Tmax-Tmin）/2(Tmax+Tmin)

蒸發(fā)曲線

3、加熱樣品臺：

4、熱蒸發(fā)

熱蒸發(fā)模塊性能測試曲線

注1：Al采用AlN坩堝外纏繞鎢絲蒸發(fā)。

注2：Ni、Ti采用鉬棒纏繞Ni、Ti絲蒸發(fā)

注：在4寸/6寸范圍內(nèi)取9個點，均勻性值=（Tmax-Tmin）/2(Tmax+Tmin)

5、有機(jī)物蒸發(fā)：

有機(jī)物束源爐性能測試曲線

測試條件：Red Prime材料，密度1.0g/cm3

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