自動橢圓偏振測厚儀

測量范圍：薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10

測量厚度最小示值（nm）：≤1

偏振器方位角范圍：0°- 180°讀取分辨率為0.05°

偏振器步進角：0.014°/步

測量膜厚（nm）：±1

折射率重復性精度：±0.01

度盤刻度：每格1度

儀器測量精度（nm）：±0.5（薄膜厚度在10-100nm時）

入射角調節(jié)范圍：20°～90°精度為0.05°

入射光波長（nm）：632.8

光學中心高（mm）：80

允許樣品尺寸（mm）：φ10-φ140（或任意形狀），厚度≤15

外形尺寸（mm）：590*390*320

主機重量（kg）：28

型號

名稱

數(shù)量

基本配置

TPY-2

橢圓偏振測厚儀主機

1臺

TPY-2

主機電控箱

1套

二氧化硅膜樣片

1片

TPY-2

橢圓偏振測厚儀專用軟件

1套

需另配

計算機

1套